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Für Beschichtungs-, Ätz- und diverse Dünnschichtanlagen in der Halbleiterindustrie, der Sensor-, Display- und Solarfertigung sowie der chemischen Industrie und der Forschung und Entwicklung bieten wir verschiedene Komponenten und Services der Gas- und Reinstgastechnik an. Produkte der Fa. Proterial und Marken Hitachi/AERA (andere Typen auf Anfrage) - Elastomergedichtete MFC - Metallgedichtete MFC - Digitale MFC - Verdampfersysteme für die Produktion - Planung von Gassteuersystemen z.B. für Dünnschichtabscheidungen im Vakuum - Spezifikationen/Datenblätter MFC - MFC Hitachi- AERA - MFC Hitachi- SAM