Wafer-Handler für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten.
Waferhandler der Serie 1 | Waferhandler der Serie 3 mit Single Arm | Waferhandler der Serie 3 mit Dual Arm
Wafer-Handler der Serie SHD-Dual-Arm und Serie SHD Grundkörper werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit durch integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige.
Wafer-Handler für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten
Das Aushängeschild der iselRobotik sind Roboter für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten in der Halbleiterindustrie. Diese Wafer-Handler erfüllen die strengen Reinraum ISO 1 Anforderungen und überzeugen außerdem durch Präzision und Zuverlässigkeit. Seit über 10 Jahren werden diese Wafer-Handler in den unterschiedlichsten Wafer-Bearbeitungszellen, Sortern und Inspektionsanlagen weltweit sehr erfolgreich eingesetzt. Durch das Baukasten-Prinzip und einer großen Auswahl an Grundkörpern und Armeinheiten, sind sehr viele Kombinationsmöglichkeiten aus Standardkomponenten realisierbar.
Waferhandler der Serie 1
Roboter der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7“ bis 21“ Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5“ bis 28“ kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 3 kg möglich.
Waferhandler der Serie 3 mit Single Arm
Roboter der Serie 3 mit Single Arm werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Damit können Lasten von bis zu 5 kg auch in Kombination mit langen Armbaugruppen und großem Z-Hub bis 21“ realisiert werden.
Waferhandler der Serie 3 mit Dual Arm
Roboter der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme, können Wafer sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden.
Die Anbindung weiterer Komponenten an den Isel Wafer-Handler (IWH), wie z.B. Mapping Sensor, Flipmodul, Alignment on the Fly Sensoren, Prealigner, Lineareinheit oder auch kundenspezifischer Endeffektor, ist einfach zu realisieren. Die Ansteuerung des Isel Wafer-Handlers erfolgt entweder über den integrierten Standard Controller, oder über den optional verfügbaren Advanced Controller. Der Betrieb mit einem Fremdcontroller ist ebenfalls möglich. Ein riesiges Portfolio an vorinstallierten Makros steht Ihnen bei der Programmierung zur Verfügung.
Preise: Auf Anfrage | +49 (0) 6659 / 981-800
Gewicht: ca. 60 kg
Wiederholungsgenauigkeit: T: +/- 0,02°/s R: +/- 0,02 mm Z: +/- 0,02 mm
Nutzlast: bis zu 3 kg / Arm
Max. Geschwindigkeit: T: 250°/s R: 800 mm/s Z: 300 mm/s
Netzanschluss: 110 / 230 V AC
Schnittstelle: RS-232 [DB9] Ethernet [RJ-45
Arbeitsbereich: Z: 13", 15" radial: 14" theta: 450°
Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7" - 21" Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5" bis 28" kombinierbar. Fü...
Für Lasten von bis zu 5 KG - auch in Kombination mit langen Armbaugruppen und großen Z-Hub bis 21"
Wafer-Handler der Serie 3 mit Single Arm werden d...
Für Handhabungen von Wafern bis zu 450 mm
Wafer-Handler der Serie SHD-Dual-Arm und Serie SHD Grundkörper werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauli...
Durch die beiden unabhängigen Arme, können die Wafer sehr schnell ausgetauscht und neu bestückt werden.
Somit werden Leerfahrten vermieden.
Wafer-Ha...
Die RDH-XS ist eine hochwertige, rostfreie Rotationseinheit und Dreheinheit mit Präzisionsgetriebe, Schutzart IP 65 und Untersetzungen von 1:50 oder 1...
mit 2 Präzisions-StahlwellenØ 12 h6, Material Cf53, Härte 60 ± 2 HRC
Standard- und max. bestellbare Längen sowie Steigungen s. Details
Ideal für den...
Lineareinheiten mit Spindelantrieb - LES 6 von isel, arbeiten kraftvoll, sind hoch präzise und bieten Raum für Ihre individuelle strukturelle Gestaltu...
Komplett geschlossene Antriebseinheit inklusive innenliegende Rollenführung mit Lebensdauerschmierung. Ideal für diverse Positionier- und Verstellaufg...
Ein entscheidender Vorteil gegenüber den wesentlich teureren optischen Systemen ist die Unempfindlichkeit gegenüber Verschmutzungen durch Flüssigkeite...
Lineareinheiten mit Spindelantrieb - LES 5 von isel, arbeiten kraftvoll, sind hoch präzise, haben 2 Spuren, sind 225 mm breit und besitzen einen integ...
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Somit werden Leerfahrten vermieden.
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