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Im weiteren Verlauf des Nitriervorgangs nimmt die Dicke der Nitrierschicht zu, wobei die Wachstumsgeschwindigkeit mit zunehmender Dauer durch die immer stärkere Diffusionsbehinderung sinkt [5,6,7]. Zusätzlich kann Kohlenstoff in die Verbindungsschicht eingebaut werden. Dieser wird dem Werkstoff aus dem Reaktionsmedium und dem Grundmaterial zugeführt. Man erhält Nitridschichten entsprechend dem Dreistoffsystem Fe-C-N (Abb. 5).