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Herstellung von Versorgungssystemen Versorgungssysteme dienen der sicheren Versorgung von Verbrauchern wie Flüssigdosiersystemen oder Verdampfersystemen, z.B. der Reihe VS-100, mit den dort eingesetzten flüssigen Chemikalien. Silane, Chloride und Metallalkyle wie SiCl4, TiCl4, SiHCl3, HMDSO, DEZ, TMA oder viele andere kommen hier zum Einsatz. Die Auslegung des Systems erfolgt anwendungsspezifisch und kann jeweils den besonderen Erfordernissen jeder Applikation angepasst werden. Das Versorgungssystem kann für ein Gebinde ausgelegt werden oder um eine unterbrechungsfreie Versorgung zu erreichen für 2 Gebinde ausgerüstet werden. Es erfolgt eine automatische Umschaltung sobald das erste Gebinde leer ist. Das Transportgefäß wird in einem Schrank aufgestellt und dort fest mit dem Rohrsystem verbunden. Die Ventile des Systems sind pneumatisch betätigt und werden von einer automatischem Ablaufsteuerung betätigt. Wurde ein neues Transportgefäß eingebaut, so werden zunächst die Anschlussleitungen unter Druck gesetzt und einem Druckhaltetest unterzogen um den sicheren Anschluss des Gebindes zu bestätigen. Nachdem dieser Test bestanden wurde werden die Anschlussleitungen durch eine automatisierte Druckwechselspülung freigespült (Beaufschlagen der Leitungen mit N2 und anschießendes Evakuieren im Wechsel). Um das Freispülen zu erleichtern werden Membranventile eingesetzt. Danach erfolgt die Freigabe des neuen Fasses zur Versorgung der angeschlossenen Verbraucher. Nachdem ein Transportgefäß geleert wurde wird zunächst der Precursor der sich noch in der Steigleitung befindet in das Transportgefäß zurück gedrückt. Die in diesem Leitungsabschnitt eingesetzten Ventile sind 3-Port-Ventile um Todräume zu vermeiden und damit das sichere Freispülen der Leitungen zu erleichtern. Anschließend werden alle Anschlussleitungen zu dem Transportgefäß durch eine automatisierte Druckwechselspülung freigespült. Während der automatisch laufenden Spülsequenzen zum Fasswechsel müssen die Handventile des Transportgefäßes geöffnet und geschlossen werden. Die Anweisung dazu erhält der Bediener von dem Steuergerät. Das Transportgefäß steht auf einer Waage, so kann immer der noch verbliebene Inhalt angezeigt werden. Ist das Gebinde nahezu geleert, wird der Bediener gewarnt, bei erreichen der untersten Füllmarke erfolgt eine erneute Meldung, bei Systemen mit 2 Transportgebinden erfolgt eine automatische Umschaltung auf das in Bereitschaft stehende Gefäß. Als Gehäuse für das Nachfüllsystem kann ein Stahlblechgehäuse oder ein Sicherheitsschrank Typ 90 eingesetzt werden (Feuerwiderstandsfähigkeit 90 Minuten). Damit kann das System direkt in Labors und Arbeitsräumen aufgestellt werden. Die Schränke werden an die Absaugung angeschlossen und können gezielt mit Zuluft versorgt werden. Zur weiteren Erhöhung der Sicherheit kann das Versorgungssystem – je nach eingesetztem Precursor – mit einem Rauchmelder oder einem Gaswarnsensor ausgerüstet werden.

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