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Der H112 kann problemlos 12-Zoll-Wafer (300 mm) aufnehmen und arbeitet mit vielen Roboterarm-Wafer-Ladegeräten zusammen. Der H112-Tisch ist ideal zum Scannen einer Vielzahl von Halbleiterwafern, Fotomasken, Flachbildschirmen und Leiterplatten. Der H112 kann problemlos 12-Zoll-Wafer (300 mm) aufnehmen und arbeitet mit vielen Roboterarm-Wafer-Ladegeräten zusammen. Darüber hinaus kann der H112 für Durchlichtanwendungen mit einem Durchlichtbereich von 250 mm x 250 mm verwendet werden. Besondere Merkmale: - Geeignet für die meisten gängigen Markenmikroskope - 1µm oder bessere Wiederholbarkeit - Optionale 100nm-Linearskalen bieten die höchste verfügbare Auflösung - Große Auswahl an Waferhaltern - 302 mm x 302 mm (12″x12″) Hub

Positioniertisch mit Stepper Motor; Mikroskoptisch mit sehr guter Wiederholgenauigkeit, Verfahrweg von 154 x 154 mm, Versionen für verschiedene aufrechte Mikroskope erhältlich, OEM Version auf Anfrage, Controller V31XYZE empfohlen Wiederholgenauigkeit: +/- 7 µm Verfahrweg 154 x 154 mm Ausrüstung mit Encodern nicht möglich Wiederholgenauigkeit: +/- 7 µm Verfahrweg: 154 x 154 mm