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ZLM 700 – Das Einachs – Laserinterferometer für die meisten Anwendungsgebiete Mit dem Zweifrequenz- Laserwegmeßsystem ZLM 700 wird in Jena eine lange Tradition im Bau von Laserinterferometern fortgesetzt. Es werden die bewährten maßstabsverkörpernden Eigenschaften des stabilisierten Helium-Neon-Gaslasers mit der modernsten Elektronik zu einem neuartigen Laser interferometrischen Meßsystem verbunden. Programmierbare ASIC-Bausteine gestatten völlig neue Möglichkeiten in der technischen Realisierung von Kundenanforderungen. Die Einsatzmöglichkeiten des ZLM 700 reichen vom Solokalibriersystem über mehrachsige Positioniereinrichtungen bis zu kompletten Steuersystemen für Maschinen und Systemen können vollständig bewertet und über die komfortable WINDOWS™-Software anwenderspezifisch ausgewertet werden. Als vollständig modular aufgebautes System mit besten Zeiss-Optikbausteinen garantiert das ZLM 700 die Lösung aller Meßaufgaben, die Laser interferometrisch möglich sind: Position Weg Geschwindigkeit Beschleunigung Winkel Schwingung Geradheit Rechtwinkligkeit Ebenheit Fluchtung Arbeitsweise Das patentierte Wirkprinzip des entwickelten Zweifrequenz- Laserwegmeßsystem ZLM 800 basiert auf dem Zweifrequenz- Heterodyn-Verfahren des He-Ne-Gaslasers. Die Schwebungsfrequenz von 640 MHz der beiden Moden des auf 0,002 ppm thermisch stabilisierten Lasers wird zur Signalverarbeitung ermöglicht vervierfacht. Diese Hochfrequenzsignalverarbeitung ermöglicht Messungen bei sehr hohen Objektgeschwindigkeiten ohne Interpolationsfehler und extrem geringen Signalverzögerungen. Zur Übertragung des Meßsignals von der Interferometer Optik zur Meßwerterfassungselektronik auf der PC-Steckkarte werden Lichtleitkabel verwendet, so dass Signalstörungen durch elektromagnetische Umwelteinflüsse ausgeschlossen sind. Das Einsatzgebiet des ZLM 800 reicht somit von der rauhen Industrieumgebung über Meßraumbedingungen bis zum Hochvakuum. Alternativ zur PC-Steckkarte wird für die Meßsignalverarbeitung eine separate Elektronikeinheit mit zahlreichen Schnittstellen zur Messwert Ausgabe und zum Einsatz in geschlossenen Regelkreisen angeboten. Diese Variante ist bis zu 6-Achsen aufrüstbar.

Wir stellen Ihnen unsere umfangreiche Mess- und Prüftechnik zur Verfügung um auch ohne eigene Bearbeitung Ihre Bauteile zu prüfen, zu messen und für Sie zu qualifizieren. Dazu gehört u.a.: • Rauheits- und Welligkeitsmessung 2D und 3D nach EN ISO 4287/ 4288 • Ebenheitsmessung nach DIN 50441 • Topografiedarstellung und -messung • 3D-Koordinatenmesstechnik mit max. Volumen von 1000 x 650 x 300 m³ • Digitale Lichtmikroskopie bis 500 x Vergrößerung • Anfertigung von Schliffbildern (inkl. Probenkörper einbetten, anschleifen u. Anätzen) Weitere Details finden Sie in auf unserem Datenblatt. Anwendungsbeispiele • Masken, Blenden und Schablonen • Nutzensubstrate, Netzwerke, Hybride • Kontakte & Stromführungen • Rotor-/Statorpakete • Bauteilkennzeichnung Verfügbare Materialien • Keramik, Glas, Silizium • Eisenmetalle • Buntmetalle • Schwermetalle PDF-Link: https://www.lcpgmbh.de/fileadmin/user_upload/Datenblaetter_Designrichtlinien/11_LCP_DB_Auftragsmessen_dt.pdf

Hochstabiles Laserinterferometer für Längen- oder Winkelmessungen höchster Genauigkeit

Laser interferometrische Mess Systeme des Typs: ZLM (Zweifrequenz Laser Messsystem) ZLM 700 (einachsige Messaufgaben) ZLM 800 (mehrachsige simultane Messaufgaben) ZLM 900(ein oder mehrachsige Messaufgaben für Fasergeführte Systeme) diverse modulare Komponenten im Baukastensystem für Ihre spezifische Messaufgaben. Geeignet für Position und –Winkelmessung für bis zu 6 Freiheitsgraden, Ebenheitsmessung, Kalibrieraufgaben, zeitliche Abbildung (Geschwindigkeit, Beschleunigung), Schwingungsanalyse, Einbausysteme (Anwender nutzen unsere Systeme für z.B.: Elektronenstrahlbelichter, Wafer Stepper, Halbleiterindustrie, Kalibrierlabore, Bestimmung von Bauwerksverschiebungen und Schwingungsanalyse, zur Bestimmung von Achsenabweichungen und Verfahr Fehlern von Fertigungsmaschinen und Messmaschinen für die mechanische Fertigung )

Multi-Achs-System – Der Lasermesskopf des ZLM 800 bietet soviel Leistung, dass mehrere Interferometer betrieben werden können. Der Laserstrahl kann dann durch 50%, 33% oder 25% Intensitätsstrahlenteiler auf bis zu 6 voneinander unabhängige Messsysteme aufgeteilt werden. Durch die Auswerteeinheit AE 800 werden die Signale separat für jeden Kanal über spezielle Software verarbeitet. (ZLM Handbuch Software ZLM D-F1 bis F4) Die Abbildung 1 gibt einen möglichen Aufbau eines Zweiachssystems mit Planspiegelinterferometern wieder. Bei diesem Aufbau sind zwei lange Planspiegel im Winkel von 90°auf einem X-Y-Kreuztisch angeordnet. Die ausgegebenen Koordinaten gelten unter strenger Beachtung des Abbé-schen-Prinzips für den Kreuzungspunkt der beiden Lasermesslinien. In diesem Kreuzungspunkt können z.B. die Achse eines Mikroskops senkrecht zur Messebene oder ein 3D – Taster angeordnet sein. Dadurch wird ein Höchstmaß an Genauigkeit auch bei evtl. Kippbewegungen des Kreuztisches erreicht.

Berührungslose Schwingungsmessung an Oberflächen beliebiger Rauheit im Bereich von 0 bis 5 MHz bei einer Auflösung von 5 pm, Arbeitsabstand stufenlos von einigen Zentimetern bis einigen Metern

als Lichtquelle in der laserinterferometrischen Messtechnik, Wellenlänge von etwa 633 nm als natürliche, hochstabile Maßverkörperung und als Frequenznormal, verschiedene Bauformen, kurze Einlaufzeit Unsere stabilisierten He-Ne-Laser mit einer Wellenlänge von 632,8 nm werden als natürliche, hochstabile Maßverkörperung und als Frequenznormal eingesetzt. Die Stabilisierungstechnik bietet eine hohe Frequenz- und Amplitudenstabilität, geringe optische Rückkopplung und sehr kurze Einlaufzeit. Über ein Einschraubgewinde können optische Baugruppen und LWL-Einkoppelvorrichtungen zentrisch an die Laser angekoppelt werden.

Messbereich: 20 bzw. 50 mm mit Auflösung von 0,1 nm, hohe Auflösung verbunden mit unübertroffener Messgenauigkeit u. strenger Linearität (≤ 2,5 nm), reproduzierbare Antastung mit konstanter Messkraft