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Mikromontage
Unter Mikromontage verstehen wir zum einen das präzise Fügen von Komponenten mit Genauigkeiten von wenigen Mikrometern, zum anderen aber auch das Fügen von sehr kleinen Elementen. Der Einsatz von Mikrosystemen erfordert oft eine Schnittstelle zwischen der Makrowelt (dem Anwender) und dem Mikrosystem. Viele Mikrokomponenten sind so klein, dass sie sich ohne geeignete Schnittstelle nur schwer verwenden lassen.
Mikrotechnisch gefertigtes Stecksystem
Dieses Stecksystem wurde zur Montage zweier getrennt gefertigter Mikrobauteile realisiert, für die eine Klebeverbindung nicht geeignet war. Die Montagetoleranz betrug dabei weniger als 1 µm.
Auf die Stirnfläche einer Glasfaser montierte optische Sonde
Dieses Mikromontagebeispiel zeigt eine Sonde für die optische Rasternahfeldmikroskopie. Dabei wurde zunächst auf Waferebene die eigentliche Sonde in großer Stückzahl hergestellt. Die Sonde wurde auf einer kreisrunden Membran, befestigt an zwei Halteärmchen mit Sollbruchstellen über einer Öffnung im Siliziumwafer gefertigt. Danach wurde sie durch Herausbrechen auf die Stirnfläche einer monomodigen Glasfaser montiert, wobei die Glasfaser halbautomatisch mittels aktiver Justage positioniert wurde. Dazu wurde Laserlicht in die Glasfaser eingekoppelt, das aus der Sonde austretende Licht detektiert und durch laterale Positionierung der Glasfaser maximiert.
