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Laser interferometrische Mess Systeme des Typs: ZLM (Zweifrequenz Laser Messsystem) ZLM 700 (einachsige Messaufgaben) ZLM 800 (mehrachsige simultane Messaufgaben) ZLM 900(ein oder mehrachsige Messaufgaben für Fasergeführte Systeme) diverse modulare Komponenten im Baukastensystem für Ihre spezifische Messaufgaben. Geeignet für Position und –Winkelmessung für bis zu 6 Freiheitsgraden, Ebenheitsmessung, Kalibrieraufgaben, zeitliche Abbildung (Geschwindigkeit, Beschleunigung), Schwingungsanalyse, Einbausysteme (Anwender nutzen unsere Systeme für z.B.: Elektronenstrahlbelichter, Wafer Stepper, Halbleiterindustrie, Kalibrierlabore, Bestimmung von Bauwerksverschiebungen und Schwingungsanalyse, zur Bestimmung von Achsenabweichungen und Verfahr Fehlern von Fertigungsmaschinen und Messmaschinen für die mechanische Fertigung )

Mit dem Zweifrequenz- Laserwegmeßsystem ZLM 700 wird in Jena eine lange Tradition im Bau von Laserinterferometern fortgesetzt. Es werden die bewährten maßstabsverkörpernden Eigenschaften des stabilisierten Helium-Neon-Gaslasers mit der modernsten Elektronik zu einem neuartigen laserinterferometrischen Meßsystem verbunden. Programmierbare ASIC-Bausteine gestatten völlig neue Möglichkeiten in der technischen Realisierung von Kundenanforderungen. Die Einsatzmöglichkeiten des ZLM 700 reichen vom Solokalibriersystem über mehrachsige Positioniereinrichtungen bis zu kompletten Steuersystemen für Maschinen und Systemen können vollständig bewertet und über die komfortable WINDOWS™-Software anwenderspezifisch ausgewertet werden. Als vollständig modular aufgebautes System mit besten Zeiss-Optikbausteinen garaniert das ZLM 700 die Lösung aller Meßaufgaben, die laserinterferometrisch möglich sind: Position Weg Geschwindigkeit Beschleunigung Winkel Schwingung Geradheit Rechtwinkligkeit Ebenheit Fluchtung Arbeitsweise Das patentierte Wirkprinzip des entwickelten Zweifrequenz- Laserwegmeßsystem ZLM 800 basiert auf dem Zweifrequenz- Heterodyn-Verfahren des He-Ne-Gaslasers. Die Schwebungsfrequenz von 640 MHz der beiden Moden des auf 0,002 ppm thermisch stabilisierten Lasers wird zur Signalverarbeitung ermöglicht vervierfacht. Diese Hochfrequenzsignalverarbeitung ermöglicht Messungen bei sehr hohen Objektgeschwindigkeiten ohne Interpolationsfehler und extrem geringen Signalverzögerungen. Zur Übertragung des Meßsignals von der Interferometeroptik zur Meßwerterfassungselektronik auf der PC-Steckkarte werden Lichtleitkabel verwendet, so dass Signalstörungen durch elektromagnetische Umwelteinflüsse ausgeschlossen sind. Das Einsatzgebiet des ZLM 800 reicht somit von der rauhen Industrieumgebung über Meßraumbedingungen bis zum Hochvakuum. Alternativ zur PC-Steckkarte wird für die Meßsignalverarbeitung eine seperate Elektronikeinheit mit zahlreichen Schnittstellen zur Meßwertausgabe und zum Einsatz in geschlossenen Regelkreisen angeboten. Diese Variante ist bis zu 6-Achsen aufrüstbar.