I²R - Induktions Inline-Heizgerät
Induktions Inline-Heizsystem für ultrareine Flüssigkeiten. Hoch chemikalienbeständige Materialien ermöglichen den Einsatz mit einer Vielzahl aggressiver Flüssigkeiten (Säuren, Alkalien, organische Lösungsmittel).
Unser I²R Induction Inline Heater ist ein einzigartiger "point of use" Heater für hochaggressive Medien. Die verwendeten Materialien, PTFE, PFA, glassy carbon, sorgen für kontaminationsfreies Heizen aller gängigen Flüssigkeiten im Halbleiter-, Pharma- und Lebensmittelbereich. Die verwendete Technologie bietet eine bisher nicht gekannte, akkurate Temperaturregelung am "point of use". Je nach Anwendung wird eine Genauigkeit von unter 0,1°C erreicht.
Temperatursprünge von 40°C bei 1lpm Durchfluss werden spielend erreicht.
Der Heater ist zudem kaskadierbar sowie dynamisch regelbar.
Anwendungen:
1. Booster-Heizer am "point of use" in bestehenden Systemen
2. Dynamische Heizregelung, z.B. während eines nasschemischen Prozesses oder Wafer zu Wafer, Lot zu Lot Wiederholbarkeit.
3. Heater / Cooler Anwendungen
4. Temperaturkompensation über Produktwafer
Vorteile:
* platzsparend
* schnellste Temperaturänderung (<2s T90 bei 2lpm)
* hoher Wirkungsgrad
* hohe Lebensdauer
* ATEX-Version verfügbar
Kundenspezifische Anwendungen/Ausführungen möglich