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Bei der Herstellung von Präzisions- und Mikrostrukturen gewinnt die fertigungsnahe Qualitätsüberwachung immer mehr an Bedeutung. Für die industrielle Praxis werden prozesstaugliche Mess- und Prüfverfahren benötigt, die fertigungsbedingte Form- und Oberflächenfehler an Bauteilen zuverlässig und zeitnah beurteilen können. Der Fokus der FuE-Aktivitäten liegt deshalb auf der Qualifizierung optischer Mess- und Prüfverfahren zur Sicherung der Produktqualität unmittelbar im Herstellungsprozess oder in deren Umfeld. Die FuE-Projekte im ITW zielen auf die Entwicklung von Makro- und Mikromessverfahren zur Erfassung von Abständen, Formen und Rauheiten auf technischen Oberflächen Erforschung und Einsatzerprobung mikrooptischer Geometriesensoren für eine prozessintermittierende Qualitätsprüfung Entwicklung und Validierung neuartiger Methoden zur Erfassung, Verarbeitung und Auswertung von Messdaten Erstellung prozessintegrierbarer Mess- und Prüfkonzepte, basierend auf Einzel- oder Kombinationslösungen, für eine 100%-Kontrolle mit dem Ziel einer Nullfehler-Fertigung