The most flexible interferometer setup

Ein Twyman-Green-Interferometer ist ein modifiziertes Michelson-Interferometer. Hier ist der Strahlteiler von der Referenzoberfläche getrennt. Der Vorteil dieser Konfiguration besteht in einer größeren Flexibilität, da beide Interferometerarme unabhängig voneinander modifiziert werden können. So kann die Intensität des Referenz- und Testarms je nach unterschiedlichen Reflexionsvermögen der Probe leicht aneinander angepasst werden, um einen maximalen Fransenkontrast zu erhalten. Dies erhöht enorm das Anwendungsspektrum. Nur ein maximaler Fransenkontrast ermöglicht eine maximale Tiefenauflösung. Die Referenzoberfläche kann eine Oberfläche sein, die unabhängig von der Probengröße kostengünstig und präzise hergestellt werden kann. Die Anpassung an die Probengröße erfolgt durch konventionelle Optiken zur Strahlanpassung im Testarm. Im Gegensatz zu den Optiken zur Strahlanpassung bei Fizeau-Interferometern erfordern diese Optiken keine teure Fizeau-Oberfläche als Endoberfläche. Als Folge dieser Flexibilität werden die Interferenzmuster nicht nur durch die Probefehler verursacht, sondern auch durch die Aberrationen der zusätzlichen Optiken in den einzelnen Interferometerarmen. Heutzutage werden Proben jedoch nicht mehr durch visuelle Inspektion des Fransenmusters bewertet, sondern durch computerunterstützte Analyse der Phasenkarte, die das Fransenmuster verursacht. Während dieser Analyse können die Aberrationen der zusätzlichen Optiken leicht berücksichtigt werden. Schließlich liefert die Software ein objektives digitales Messergebnis.