Aktive MCRT Minienvironments
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•Aktive Minienvironments zur Erzeugung höchster Reinraumklassen innerhalb von Prozeßmaschinen, z.B. für die Halbleiterindustrie •Einfache Anpassung an Ihre Maschine durch modularen Aufbau •Laminarisator zur Erzeugung optimaler Strömungsbedingungen •Plenum-integrierte Beleuchtung zur Vermeidung von Turbulenzen •Zertifiziert gemäß SEMI-Standards

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Reinraumeinrichtung
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