Kabellose Temperaturerfassung für Hochvakuum-Anwendungen (kT-hv)
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Kabellose Temperaturerfassung für Hochvakuum-Anwendungen Die Vorteile des Gerätes auf einen Blick: - Messung und Kontrolle des Temperaturverlaufs in Echtzeit - Messung der Temperatur direkt am/ im Substrat - Erfassung von Temperaturprofilen statt Maximaltemperaturen - Komfortable Anzeige des Temperaturverlaufs, sowohl numerisch als auch grafisch - Dokumentation des Temperaturverlaufes, dadurch stehen Daten für die Archivierung in der begleitenden Prozessdokumentation zur Verfügung - Daten in Microsoft® Excel® exportierbar - Kostenersparnis durch Vermeidung übermäßiger Aufheizzeiten und Vereinfachung der Anlagen Kalibrierung (im Vgl. zum Schleppthermometer) - Anlagenunabhängig: Im Standalone-Betrieb für alle Anlagentypen geeignet; bei Anlagen von MARQUIS in Prozesssteuerung MarView integrierbar - Kein passendes Schauglas oder Anlagenumbauten (wie bei Pyrometrie) notwendig
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