Schwingquarz Sensoren und Messgeräte, Ratenmessung, Schichtdickenmessung
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INFICON bietet Schwingquarz-Sensoren in unterschiedlichen Ausführungen, einfach, zweifach und zwölffach Schwingquarz-Mess- und -Regelgeräte INFICON bietet: Schwingquarz-Sensoren mit 1, 2 und 12 Schwingquarzen, in HV- und UHV-Ausführung, für Sputterprozesse, in "Cool Drawer" Ausführung, optional mit Blende Schwingquarz-Monitore und -Regelgeräte, mit bis zu 8 Messkanälen und 6 Regelkanälen Schwingquarze (14 mm) für alle gängigen Geräte/Sensoren 5 MHz und 6 MHz, kundenspezifische Frequenzen als Option Elektrodenmaterialien Au, Ag und Speziallegierung, weitere Materialien als Option unterschiedliche Designfrequenzen bis maximal 285 °C

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