Thermische Hochtemperatur-Massedurchflussregler und -messgeräte

Strömungsweg mit hoher Oberflächengüte für anspruchsvolle Hochtemperaturanwendungen. Viele der heutigen hochentwickelten Fertigungsprozesse elektronischer Geräte erfordern eine extrem genaue und in hohem Maße wiederholbare Messung und Regelung wertvoller ultrareiner Gase und flüssiger Vorprodukte. Brooks Instrument erfüllt diese Anforderungen mit den hochtemperaturfesten metallgedichteten thermischen Massedurchflussreglern und -messgeräten. Die präzise Chemieregelung wird durch die Kombination extrem stabiler, hochgenauer Messsensoren, schneller Präzisionsregelventile und leistungsfähiger digitaler Elektronik erreicht. Unsere hochdichte, ultrahochreine Konstruktion mit einem vollständig aus Metall bestehendem Strömungsweg sichert die Reinheit der Prozesschemie. Schädliche Verunreinigungen von außen wie Feuchtigkeit und Sauerstoff werden vom Prozessmedium ferngehalten. Wesentliche Anwendungen: LWL-Herstellung - MCVD, Herstellungsverfahren für Siliziumhalbleitergeräte, CVD (Vorproduktbereitstellung in Dampfform), Abtragen (Wasserdampf).