QFOCUS QF46Z Einachsiger Piezo-Nanopositioniertisch mit Mikroskop-Objektiv

Die Piezo-Nanopositionierer von Aerotech ermöglichen in der Mikroskoptechnik die Objektiv- und Optikpositionierung bei hohen Geschwindigkeiten und Performances im Nanometerbereich. Design Features •Verfahrwege von 100 bis 300 µm •Hohe Steifigkeit und Dynamik für hervorragende Schritt-Performance, gutes Einschwingverhalten und ideale Scan-Leistung. •Präzisionsführungssystem mit reibungsloser Flexur •Lange Lebensdauer •Hervorragende Positionsauflösung und Linearität, optional mit direkt messendem Kapazitivsensor •Flexible Montage mit verschiedenen Gewindeadaptern oder Bohrungen für kundenspezifische Montagefälle •Freie Apertur bis 29 mm Durchmesser Der QF46Z ist mit 100 μm und 250 μm Closed-Loop-Verfahrweg (Open-Loop: 120 μm und 300 μm) erhältlich und erreicht lange Verfahrwege ohne Abstriche beim dynamischen Betrieb oder Nanometerpräzision. Der QF46Z ist bereits auf die nächste Generation optischer Instrumente und Lasergeräte ausgelegt. So erreicht der QF46Z z. B. aufgrund seiner höheren Steifigkeit eine bessere Performance mit schwereren und größeren sowie höheren numerischen Aperturobjektiven (NA) als die Konkurrenz. Der QF46Z ist perfekt für alle anspruchsvollen optischen Anwendungsbereiche geeignet, die eine hohe Präzision und einen großen Durchsatz bei langen Verfahrwegen erfordern. Mechanische Präzisionskonstruktion Die QFOCUS QF46Z-Piezo-Tische werden von Präzisionsflexuren geführt, die per Finite-Elemente-Methode optimiert wurden, um eine hohe Steifigkeit und ein langes Betriebsleben zu gewährleisten. Der resultierende Aufbau bietet eine hervorragende Steifigkeit und Resonanzfrequenz zugunsten eines hohen Prozessdurchsatzes bei schneller Reaktion dank geschlossenem Regelkreis. Darüber hinaus wurde der QF46Z auf hervorragende geometrische Performance (Geradheit und Winkelfehler) für besonders wichtige Mikroskopie- und Optikpositionierungsanwendungen ausgelegt. Hohe Auflösung und Positioniergenauigkeit Die QF46Z-Piezo-Tische sind auf Wunsch mit Closed-Loop-Feedback (-C) lieferbar. Möglich wird dies durch eine spezielle Ausführung der kapazitiven Sensoren mit Subnanometer-Auflösung und hoher Linearität. Die Kapazitivsensoren messen den Ausgang des Positionierschlittens direkt, wodurch eine hervorragende Genauigkeit und Wiederholbarkeit erzielt wird. Hochgenaue Steuerung In Verbindung mit der Q-Serie von Steuerungen und Antrieben von Aerotech bietet der QF46Z eine Positionsauflösung und Positionsstabilität (Positionsrauschen) im Subnanometerbereich sowie eine hohe Positionierbandbreite. Software-Optionen wie die Pakete Dynamic Controls Toolbox oder Motion Designer enthalten zahlreiche komplexe, aber benutzerfreundliche Tools, z. B. eine lernende Regelung, Harmonic Cancellation und Command Shaping, um Tracking-Fehler zu reduzieren und schnellere Schritt- und Einschwingzeiten zu gewährleisten. OEM-Antriebsoptionen sind ebenfalls verfügbar. Flexibilität Der QFOCUS QF46Z ist mit Gewindeadaptern verfügbar, die mit den meisten Mikroskopen und Objektiven kompatibel sind. Die Mikroskop-Revolverhalterung ermöglicht die schnelle und einfache Positionierung des QF46Z in der gewünschten Ausrichtung. Darüber hinaus sorgen Gewindebohrungen am Tischkörper für Montagealternativen für benutzerdefinierte Schnittstellen bei Maschinen oder anderen Optikinstrumenten. Der QF46Z ist mit einer freien Apertur bis 29 mm verfügbar. Benutzerdefinierte Tischauslegungen, Verfahrwege und Gewindeadapter werden ebenfalls angeboten.